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广东等离子体气相沉积系统

广东等离子体气相沉积系统

  • 所属分类:广东等离子体气相沉积系统
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  • 发布时间:2023-07-04 16:21:03
  • 产品概述

等离子体气相沉积系统概况:

等离子体增强化学气相沉积技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。

PECVD方法区别于其它CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。

电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性很高的各种化学基团,因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温实现。由于PECVD方法的主要应用领域是一些绝缘介质薄膜的低温沉积,因而PECVD技术中等离子体的产生也多借助于射频的方法。

本公司使用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD),射频电源采用电容耦合方式。

等离子体气相沉积系统:


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